XVS系列高精度納米級垂直定位臺采用單Crossfixx™超聲壓電電機驅動，適用于光學對準、真空腔體精密定位。

XVP系列工業級高負載垂直定位臺采用雙Crossfixx™超聲壓電電機并聯，負載2.5kg，適用于重型裝配、高速檢測等場景。

高精度垂直壓電位移臺優勢

• 大行程10-50mm

• 分辨率5-1250nm

• 重復精度50-80nm

• 大負載可達2.5kg

XVS系列高精度垂直壓電位移臺核心參數表

XVS系列垂直位移臺

·定位：高精度納米級垂直定位平臺，為輕載精密應用設計。

·核心特點：

·采用單Crossfixx™超聲壓電電機，實現無振動、靜音操作。

·斷電自鎖功能，斷電后仍保持位置穩定。

·可選質量補償模塊（MC1-MC4），負載能力提升至350g。

·兼容HV/UHV真空環境，熱耗散<5W，適合穩定納米定位。

XPS系列垂直位移臺核心參數表

XPS系列垂直位移臺

·定位：高負載、高速垂直運動平臺。

·核心特點：

·雙Crossfixx™電機并聯，驅動力達15 N（保持力30 N），負載能力2.5 kg。

·12V低電壓驅動，適合嵌入式系統集成。

·可選低磁/非磁軸承（-LM/-NM），減少磁場干擾。

關鍵選型建議：

5nm分辨率型號必須搭配XD-M控制器

UHV版本需指定無護套電纜和特殊連接器

超過100g負載建議采用MC1-4補償方案

·需納米級定位：選擇XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。

·需高速大負載：選擇XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）

應用場景

·光學系統校準

·真空環境應用

·生物樣本操作

·生產線高速檢測
1000 mm/s掃描速度實現PCB板缺陷快速篩查。

·重型裝配
機器人末端執行器搬運2.5 kg光學元件（雙電機30N保持力防滑落）。

·醫療設備驅動

手術機械臂的垂直進給（12V低壓安全驅動，非磁軸承避免MRI干擾）。