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M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)
昊量光電新推出M-cat 磁場均勻性檢測系統(tǒng)，可以快速精準(zhǔn)的對濺射系統(tǒng)磁控管和磁棒的測量質(zhì)量精準(zhǔn)控制。旋轉(zhuǎn)磁控管和可調(diào)磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過程中進(jìn)行精確測量和分析及可靠地識別有缺陷的磁控管和磁棒。可以提高層厚的均勻性并且可以避免濺射。
M-cat 磁場均勻性檢測系統(tǒng)主要介紹：
在玻璃或硅上濺射需要高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。即使沉積層厚度的微小波動也會顯著影響層的特性。用于窗戶和立面結(jié)構(gòu)的浮法玻璃在顏色和透射特性方面可能會發(fā)生某些變化。作為太陽能電池生產(chǎn)基礎(chǔ)的玻璃涂層厚度的變化會導(dǎo)致電性能的不對稱。
濺射氣體的分壓或磁場可以改變層的特性。由于氣體成分的變化同樣會影響層的成分，因此對于層厚度的調(diào)整，僅可以應(yīng)用磁場的控制和修改。
M-cat 磁場均勻性檢測系統(tǒng)以高精度表征管狀磁控管，使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體配置進(jìn)行精確測量和分析外，M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)還為可調(diào)節(jié)磁控管提供幫助，為確保高可靠性，確定了磁控管的幾何形狀（偏轉(zhuǎn))。
使用M-cat 磁場均勻性檢測系統(tǒng)可以增加：
過程可靠性，因為可以對新磁控管進(jìn)行進(jìn)貨檢驗，并且可以更早、更可靠地檢測到有缺陷的磁控管。
層厚度的均勻性，因為可以以可控方式設(shè)置可調(diào)磁控管，或者可以更容易地組合合適的磁控管。
靶材的使用壽命，因為可以避免成本密集型靶材的濺射。
M-cat 磁場均勻性檢測系統(tǒng)突出亮點：
獲取完整的磁場輪廓
可提供用于圓形陰極和扁平陰極磁控管的系統(tǒng)
可以在現(xiàn)有的制造過程中實施該系統(tǒng)
可微調(diào)磁控管微調(diào)輔助功能
高可用性
MHLS-線性霍爾傳感器主要技術(shù)指標(biāo)：
在 1 分鐘內(nèi)完成測量
場過程的圖形表示
檢測蕞小和蕞大磁場強(qiáng)度
以 CSV 格式存儲和導(dǎo)出單個測量系列的功能
可以記錄目標(biāo)參數(shù)（直徑、偏轉(zhuǎn)）
微調(diào)可微調(diào)磁控管的輔助功能
長度為 0.4 - 4.0m
磁場配置：33 個通道（X、Y、Z）+/- 1%
磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- 0.1mm
目標(biāo)的幾何形狀（直徑、偏轉(zhuǎn)）：+/- 0.1mm
具有生命周期管理、各種視圖和設(shè)置選項的軟件
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