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應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天

皮米精度位移測量儀

昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器，達到了*50pm的重復(fù)精度。quDIS支持三個測量通道，使其可以適用于任意多軸測量應(yīng)用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的距離測量。因此，皮米精度位移測量儀不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中得到。

干涉?zhèn)鞲蓄^

根據(jù)反射目標的不同，所有應(yīng)用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現(xiàn)的。所有的quDIS的傳感器頭都是基于光纖的，除了標準準直儀和已建立的聚焦頭，quDIS還為惡劣環(huán)境下的應(yīng)用程序設(shè)計了特殊的頭。

用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計

鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準直頭

產(chǎn)品關(guān)鍵特性：

信號穩(wěn)定性：< 0.05nm
距離測量
0.1——20m工作距離
工作帶寬25kHz
目標速度1m/s
3個傳感頭，多設(shè)備同步

應(yīng)用領(lǐng)域：

干涉距離測量
振動分析
束線中斷補充
間隙和邊緣測量
環(huán)境振動分析
位移臺精度評估

皮米精度位置測量儀參數(shù)列表：

干涉儀		傳感頭
光源	DFB激光器	分辨率	1pm
功率	<400uW	信號穩(wěn)定性	< 0.05nm
波長	1535nm	距離穩(wěn)定性	<200nm
線寬	<5MHz	帶寬	25kHz
傳感器通道	3	工作距離	0.1—20m
光纖輸入端口	FC Narrow-Key-Slot	目標速度	<1m/s
光纖輸入端口	Mating Sleeves	傳感頭	真空
同步	多臺設(shè)備同步	傳感頭	低溫

皮米精度位移測量儀

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